 |
 |
在庫は時期によりまして
変動することがございます |
書籍情報
応用範囲の極めて広い薄膜について，その作製法から性質・応用までを幅広くまとめる． |
|
|
|
薄膜物性入門
|
| A5／400頁 定価（本体6000円＋税） 978-4-7536-5031-6
|
| 井上泰宣／鎌田喜一郎／濱崎勝義 訳／L. Eckertová 著 |
 目 次 |
第1章 緒 言
第2章 薄膜の作製法
1. 化学的および電気化学的方法／2. 真空蒸着／3. 陰極スパッタリングおよびイオンを用いる他の方法／4. マスク法，微細加工および薄膜のプロセシング
第3章 薄膜の膜厚および蒸着速度の測定方法
1. 天秤法／2. 電気的方法／3. 光学的方法／4. 運動量移行を利用した膜生成速度の測定／5. 特殊な膜厚の測定法
第4章 薄膜の形成機構
1. 薄膜の形成過程／2. 核形成／3. 島の成長と合体／4. 膜の最終的な構造に与える種々の因子の影響／5. 薄膜の結晶構造／6. エピタキシャル膜
第5章 薄膜の分析
1. 薄膜分析用電子顕微鏡法／2. 電子回折／3. X線法／4. 電子線を用いる分析法／5. イオンビーム法／6. 光を用いる方法
第6章 薄膜の性質
1. 機械的性質／2. 薄膜の電磁気的性質／3. 薄膜の光学的性質
第7章 薄膜の応用
1. 機械的性質の応用／2. エレクトロニクス，および超小型エレクトロニクスへの応用／3. 光学，光エレクトロニクス，光集積回路への応用
|
|
|
書籍サポート情報 
